赛力斯自动化科技有限公司

莫特高纯气体过滤器可对低至0.0015μm的颗粒进行9对数过滤，从而产生无颗粒气体。为了大限度地提高气体过滤效率、强度和可靠性，GasShield POU全金属气体过滤器是超高纯（UHP）气体输送应用的理想选择。它们与大多数高纯度电子级工艺气体兼容。

不锈钢过滤介质

• 操作条件：

max工作压力：3750 psig（258.5 barg）

惰性气体的highest工作温度：450°C

max压差：1000磅/平方英寸（68.9巴）

• 材料：

五金件：316L SS

过滤介质：316L SS

润湿硬件表面光洁度：5 Ra，电抛光

• 过滤器效率（对数折减值）：

≥9 LRV（颗粒减少99.9999999%）。

根据SEMI F38-0699测试方法，确定最大穿透粒度为0.08μm

• 颗粒去除尺寸：≥0.0015μm
• 氦气泄漏等级：1 x 10-9 atm cc/sec
• 水分贡献：根据SEMI F27测试方法，在低流量环境吹扫下1小时后<10 ppb
• 总碳氢化合物：低于SEMASPEC 90120396B测试方法的可检测限值
• 颗粒脱落：根据SEMI F43-0308试验方法，背景以上的颗粒贡献为零（<1颗粒/ft³）
• 产地：美国

用于半导体、LED、光伏和MEMS设备连接的超高压气体棒。阀门歧管箱、气体柜、工具隔离气体箱、车载气体输送箱中的超高压过滤或任何需要超高纯度颗粒去除的工艺。