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ONTO光刻系统JetStep G35
- 品 牌：ONTO
- 型 号：JetStep G35
- 技术资料：
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产品介绍
JetStep G35 系统专为灵动性而设计，利用一系列高性能投影镜头为平板显示器制造商实现高分辨率成像。Jetstep G35 系统是一款大批量制造成像系统，适用于高达 3.5 代的显示器。JetStep G35 系统可实现低至 1.5µm 的高分辨率成像，并结合先进的高分辨率显示器制造所需的配准和拼接精度。适用于高达Gen 3.5尺寸的平板显示器应用的高分辨率成像。
性能特点
- 自动放大控制增加了工艺窗口
- 板载标线管理系统提供大利用率
- 用于现场校准的机载计量包
- 在每个曝光位置进行动态自动对焦，以自动调整面板拓扑上的焦点
- 提供系统性能和故障排除反馈的板载诊断
技术参数
- 行业标准的 6 英寸光罩格式，用于经济的制造
- 低至 1.5µm 的高分辨率成像
津公网安备12010102000945号
